核心零部件在半導體設(shè)備制造中的應用
??核心零部件廣泛應用于半導體設(shè)備制造,支撐刻蝕、沉積、清洗、檢測等關(guān)鍵工藝,保障精度與穩(wěn)定。
UPAM生產(chǎn)制造的核心零部件經(jīng)設(shè)備廠及Fab廠驗證,可穩(wěn)定應用于先進制程設(shè)備。產(chǎn)品具備優(yōu)異的耐腐蝕特性,有效延長設(shè)備運行時間,優(yōu)化刻蝕性能,提升制程良率與整體產(chǎn)能。
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用于半導體設(shè)備的光學器件在光刻、檢測、封裝等工藝中承擔著精確傳輸與成像的重要任務(wù)。UPAM的WEE鏡頭組及相關(guān)光學器件具備優(yōu)異的透光率與熱穩(wěn)定性,滿足先進制程對高分辨率、高可靠性的要求,助力設(shè)備實現(xiàn)精密控制與高效產(chǎn)出。